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Gasonics系列V1.0

 
Gasonics去胶系列  (A1000,A2000,L3510,PEP3510)
机台介绍
Gasonics去胶系列设备,适用于4、6、8英寸去胶制程;采用微波功率源,去胶速率快,其中A1000、A2000、L3510为单腔体设计,PEP3510为双腔体设计。设备占用空间小,适用于规模化生产;同时操作界面简单、维护方便、机台利用率高,性价比高,可根据工艺需求及预算选择适用机型。其市场占有率高,备件渠道完善。

应用领域
4英寸、6英寸、8英寸传统硅基半导体产线

升级后应用领域
4英寸、6英寸碳化硅、氮化镓、砷化镓的工艺制程

升级后产品优势
· 可定制化低温去胶解决方案
· 可选配定制传送系统升级,增加机台稳定性
· 4路工艺气体选配,定制顽固胶去除方案
· 升级传送及腔体套件,匹配透明片、薄片的传送及配套工艺
· 提供多种新工艺开发及解决方案


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