Gasonics去胶系列  （A1000,A2000,L3510,PEP3510）
机台介绍
Gasonics去胶系列设备，适用于4、6、8英寸去胶制程；采用微波功率源，去胶速率快，其中A1000、A2000、L3510为单腔体设计，PEP3510为双腔体设计。设备占用空间小，适用于规模化生产；同时操作界面简单、维护方便、机台利用率高，性价比高，可根据工艺需求及预算选择适用机型。其市场占有率高，备件渠道完善。

应用领域
4英寸、6英寸、8英寸传统硅基半导体产线

升级后应用领域
4英寸、6英寸碳化硅、氮化镓、砷化镓的工艺制程

升级后产品优势
· 可定制化低温去胶解决方案
· 可选配定制传送系统升级，增加机台稳定性
· 4路工艺气体选配，定制顽固胶去除方案
· 升级传送及腔体套件，匹配透明片、薄片的传送及配套工艺
· 提供多种新工艺开发及解决方案