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SINO Plasma2000 PECVDS

发布时间：2022/12/01 15:55:49

工艺应用
α-Si，SiO2，SixNy，PSG，BPSG


晶圆尺寸
8寸及以下


适用衬底材料
硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、蓝宝石、石英玻璃

 



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