邑文快讯 | 国产芯突破！邑文科技首台12英寸CVD SPV 12D化学气相沉积设备成功交付成都比亚迪半导体

发布时间：2025-07-22

阅读人数：885322

2025年7月21日，邑文科技再传捷报——邑文科技自主研发的首台12英寸化学气相沉积设备SPV 12D正式交付成都比亚迪半导体产线！这不仅标志着国产化学气相沉积设备挺进12英寸核心工艺圈，更为车规级芯片制造注入"中国芯"动力。...

聚焦前沿 · 半导体技术 | 第八届邑文科技论坛圆满落幕

发布时间：2025-07-14

阅读人数：672095

在全球科技竞争日趋激烈的当下，半导体产业正迎来前所未有的发展机遇与挑战。作为信息技术产业的核心，半导体技术的每一次突破都深刻影响着智能终端、新能源汽车、5G 通信等众多领域的迭代升级。其中，宽 / 超宽禁带半导体材料与器件凭借耐高温、耐高压...

工艺案例 | 邑文科技离子注入后光刻胶去除工艺

发布时间：2025-06-23

阅读人数：739177

在半导体制造的离子注入过程中，光刻胶作为关键掩模保护特定区域，其本身会因高能离子轰击而发生显著变化。这些影响涉及化学、物理和结构层面，直接影响后续工艺（尤其是光刻胶去除）的成败。其中的工艺难点主要有离子注入后对光刻胶表面产生的以下几个方面的...

邑文快讯 | 国产装备新突破！邑文科技首台12英寸CCP SPC 12D刻蚀机成功交付成都比亚迪半导体

发布时间：2025-06-20

阅读人数：376631

近日，邑文科技再传捷报——邑文科技自主研发的首台12英寸介质层刻蚀机SPC 12D正式交付成都比亚迪半导体产线！这不仅标志着国产刻蚀设备挺进12英寸核心工艺圈，更为车规级芯片制造注入"中国芯"动力。...

工艺案例 | 邑文科技ALD布拉格原子叠层技术（Bragg Atomic Stack, BAS）

发布时间：2025-05-26

阅读人数：532987

DBR（分布式布拉格反射器）是一种基于布拉格反射原理的光学元件，通过周期性交替排列的高、低折射率材料层实现对特定波长光的高效反射。 DBR技术的核心难点集中在纳米级制造工艺、热稳定性、材料体系创新以及集成化设计。...