SINO-Plasma 100去胶机
发布时间:2020/09/07 10:47:01
机台介绍 SINO-Plasma 100去胶机是邑文自主研发单腔体去胶设备,配置高精度传送手臂,电感耦合等离子体(ICP)源,高精度控温热板模块。基于Windows平台自主开发的操作系统,大尺英寸液晶触摸面板,人机交换界面简单便捷。设备具有占用空间小,耗材及运营成本低等优点。适用于半导体前后段各种光刻胶的去除。 应用领域 · 4英寸~8英寸硅基半导体生产线 · 4英寸~6英寸碳化硅、氮化镓、砷化镓等产线的去胶应用 · 封装测试、MEMS等应用 产品优势 · 高精度传送平台 · 高刻蚀速率 · 专业的编程设计,各位置互锁及产品保护 · 大尺英寸触摸屏人机交换界面,可视化操作 · 反应腔套件损耗及维护成本低 · 可提供多种新工艺开发及解决方案 主要技术参数 Equipment Availability / Uptime:≥92 WPH:>30 Strip Rate:>6,0000 A/min Strip Rate Uniformity:<5% Substrate Loss:<15A |