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SINO Plasma100 RTP

发布时间：2022/12/01 15:32:57

工艺应用
RTP RTO RTA RTN  RTN


晶圆尺寸
8寸及以下


适用衬底材料
硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、蓝宝石、石英玻璃

 



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