工艺应用
α-Si，SiO2，SixNy，PSG，BPSG

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晶圆尺寸
8寸及以下

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适用衬底材料
硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、蓝宝石、石英玻璃

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腔体类型
单片型