工艺应用
去胶、低温去胶、打底膜、去碳膜、等离子清洗

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晶圆尺寸
8寸及以下

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适用衬底材料
硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、蓝宝石、石英玻璃

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产能
WPH：150