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SINO ALD P200 批量薄膜沉积设备

工艺应用
防水汽保护层,光学镀膜,功能型膜层(亲水层,疏水层)



晶圆尺寸
8寸及以下



沉积材料
Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、ZrO2、AlN、TiN  et al



应用领域
Mini LED﹑Micro LED﹑UVC LED与车用户外照明LED,光学镜头(需要做叠层),AR光栅,MEMS传感器,SAW&BAW滤波器。



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